《微机电系统(MEMS)技术 传感器胶接固化参数测试方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
目前国内外尚无MEMS传感器封装胶热固化成型评估与分析相关的标准,封装胶热固化成型过程分析和表征手段缺失,严重制约我国MEMS传感器性能提升与新型号研制。