《光学和光子学 i线玻璃》由TC103（全国光学和光子学标准化技术委员会）归口上报，TC103SC5（全国光学和光子学标准化技术委员会光学材料和元件分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。

国内标准： GB/T 903-2019《无色光学玻璃》，规定了常规光学玻璃的命名、分类、质量性能指标及分级要求等，i线玻璃属于特种光学玻璃，其光学常数、光学均匀性等质量指标要求高，超出了 GB/T 903-2019中的相关质量指标的分级要求，且i线玻璃需要具有优异的辐照稳定性和紫外波段的高内透射比，GB/T 903-2019中无对应的质量指标要求，满足不了i线玻璃生产及使用要求，而i线玻璃对半导体i线光刻机又具有至关重要的作用，因此需要制定i线玻璃的产品标准。