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《电子气体 八氟丙烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准委

目录

基础信息

标准编号
20243670-T-469
计划下达日期
2024-01-31
项目周期
与中文国家标准项目周期一致
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准委

翻译承担单位

国内外简要情况说明

八氟丙烷是一种在半导体行业中广泛应用的气体,因为它具有高度的选择性,所以它能够用作等离子蚀刻材料,能够有选择地与硅片的金属基质发生作用。

由于这种特殊性质,电子级八氟丙烷是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀;同时电子级八氟丙烷是一种理想的清洗剂,在半导体制造过程中,八氟丙烷与氧气的混合气可以有效地去除半导体表面的残留物和污染物,提高半导体产品的质量和可靠性。

近年来,随着大规模集成电路技术的进步,市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。

在此背景下,为提升电子特气科技水平发展,现申请立项制定《电子气体 八氟丙烷》国家标准英文版。