《光学系统波前像差的测定 夏克-哈特曼光电测量法》由TC487(全国光电测量标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。
从空间望远镜到光刻物镜,光学成像质量需求越来越高,对核心部件光学镜头的精度要求也越来越高。
光学系统的波前像差是评价光学系统成像质量的核心参数,用于直观判定光学镜头是否满足研制和使用的要求。
夏克-哈特曼光电测量法测量光学系统波前像差具有大的动态范围,实时显示光学系统波前像差的数字化测量结果,环境适应好等优点,可以在实验室以及车间、生产线等环境下使用。
夏克-哈特曼波前测量方法是光学系统波前像差工业化数字化检测的主要发展方向。
随着国内光学像差数字化检测技术的不断发展,很多光学加工或检测部门引进了数字夏克-哈特曼波前传感器用于波前像差的检测。
但由于缺乏夏克-哈特曼波前传感器测量波前像差方面相关标准,各企业均按照夏克-哈特曼传感器生产厂家的使用说明或根据个人的理解进行测试,导致夏克-哈特曼光电测量法测量结果一致性差,可靠性低等问题。
目前国内外均有夏克-哈特曼光电测量设备在应用,国内在此领域的产品技术指标已经达到国际同等水平,但国内和国际上均没有相应的测量方法标准,亟需制定光学系统波前像差的夏克-哈特曼传感器光电测量方法标准,规范使用夏克-哈特曼方法进行光学系统波像差的数字化检测,填补国内在光学系统波前像差的夏克-哈特曼传感器光电测量上的空白。
法国Imagine-Optic、荷兰 Oko、意大利Spotoptics、德国Optocraft、俄罗斯Visionica等公司均有夏克-哈特曼探测器产品销售,国内中国科学院光电技术研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院苏州生物医学工程技术研究所、北京理工大学等也都有研制哈特曼探测器。
设备在光学检测等领域获得了广泛应用,对于制定统一的光学系统波前像差的夏克-哈特曼光电测量方法具有迫切需求。
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