《光电系统中光学中心间距的测定 低相干干涉测量法》由TC487(全国光电测量标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。
从手机摄像头到航天相机,光学成像质量需求越来越高,对核心部件光学镜头的精度要求也越来越高。
光电系统中光学中心间距决定了各个镜片的相对位置,其误差严重地影响光学镜头的成像质量。
通过传统接触式的方法测量光学中心间距,容易造成高精度镜片的损伤,且不能直接测量组装好的镜头。
低相干干涉测量方法,利用宽带光源的低相干特性,实现光电系统中光学中心间距的高精度非接触测量。
不仅可以测量单镜片的中心厚度,还可以测量组装后的镜头,不需要拆开便可实现多镜片中心间距的同时测量,并且测量过程中不需要直接接触镜片,具有测量快速、安全无损伤,精度高等优点,非常适用于高精度光学镜头的装调与检测等情形。
低相干干涉测量方法,是目前行业内公认的高精度光学中心间距测量的主要方法,也是高精度光学中心间距测量技术的主要发展方向。
由于缺乏相应的测量方法标准,用户均依据自己的经验进行测量,导致测试结果的一致性差,可靠性低,同时影响了测量的准确度和重复性精度。
目前国内外均有相应的测试设备在应用,国内在此领域的产品技术指标已经达到国际同等水平,但国内和国际上均没有相应的测量方法标准,亟需制定光学中心间距的低相干干涉测量方法标准,填补国内在光学中心间距的低相干干涉测量方法上的空白。
国内大多从事高精度光学设备生产的企业都引进了法国FOGALE公司或德国TRIOPTICS公司等国外公司的低相干干涉测量设备,用于光学镜头装调与检测过程中光学中心间距的测量。
2018年中国科学院苏州生物医学工程技术研究所、长春奥普光电技术股份有限公司联合研制光学非接触低相干的光学中心间距测量装置。
长春国科精密光学技术有限公司上海分公司、北京欧普特科技有限公司等也推出了系列的测量设备。
设备在光学检测等领域获得了广泛应用,对于制定统一的光电系统中光学中心间距的测定低相干干涉测量方法具有迫切需求。
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