《微机电系统(MEMS)技术 MEMS磁传感器技术规范》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
MEMS磁传感器由于其具有极高的灵敏度和分辨率、优异的温度稳定性、小体积、低功耗以及宽动态范围等典型性能优势,已经进入磁传感器的主流市场,广泛应用于智能电网、汽车电子以及物联网等多个领域,并逐步替代原有的半导体霍尔器件。
由于MEMS磁传感器不同的结构特征,且MEMS磁传感器关键敏感元件的传感机理有很大差异,目前国标和行标中所提的磁传感器均不能适用,仅针对传统的霍尔效应磁强计进行了规定,未考虑磁阻效应、磁电耦合效应等新型传感原理的磁传感器,且标准年代过于久远。
为规范MEMS磁传感器的术语、统一MEMS磁传感器的产品形态、指导用户合理开展MEMS磁传感器的应用,保障MEMS磁传感器产业的有序健康发展,在推荐性国家标准项目层面制定相应的标准具有十分必要的紧迫性。