《电子气体 氧化亚氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
电子级氧化亚氮主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键电子气体。
高纯氧化亚氮在化学气相沉积（CVD）工艺中，可用于制备掺杂SiO2膜。
近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。
在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 氧化亚氮》国家标准英文版。
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