《电子气体 大宗气体》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
半导体是电子大宗气体主要应用场景，在半导体制程中，电子大宗气体主要用作环境气、保护气等，具有用量大、覆盖环节广等特点。
近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。
在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 大宗气体》国家标准英文版。
全国标准信息公共服务平台
