国家标准《纳米几何量标准样板测试方法》 由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、成都工具研究所有限公司 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、上海市计量测试技术研究院 、同济大学 、天津大学 、中国计量科学研究院 、广西壮族自治区计量检测研究院 、中国测试技术研究院 、苏州天准科技股份有限公司 。

主要起草人 吴爱华 、付兴昌 、李锁印 、许晓青 、邹学锋 、韩志国 、赵琳 、张晓东 、冯亚南 、梁法国 、许刚 、何宜鲜 、朱振宇 、李强 、万宇 、雷李华 、傅云霞 、曾艳华 、管钰晴 、邓晓 、刘庆纲 、张恒 、施玉书 、苏翼雄 、冉庆 、曹葵康 。