国家标准《半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘》 由TC139（全国磨料磨具标准化技术委员会）归口，TC139SC3（全国磨料磨具标准化技术委员会超硬材料及制品分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 江苏三晶半导体材料有限公司 、北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司 、郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 、北京科技大学 、武汉市汇达材料科技有限公司 、郑州三磨超硬材料有限公司 、江苏锋菱超硬工具有限公司 。

主要起草人 邹余耀 、张富纬 、高巍 、包华 、李成明 、孙文文 、刘天立 、庄政伟 、徐永江 、罗晓丽 、刘一波 、张良 、王磊 、苗苗 。