国家标准计划《集成电路用全自动装片机》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。
主要起草单位 大连佳峰自动化股份有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。
主要起草人 王云峰 、黄健 、梁晶晶 、边志成 、孙永军 、孙启超 、李德明 、张飞 、杜风芹 、冯亚彬 、曹可慰 。
20141081-T-469 已发布
GB/T 41213-2021