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国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC3(全国半导体设备和材料标准化技术委员会封装分会)执行 ,主管部门为国家标准委。

主要起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 、东海县产品质量监督检验所 、江苏中腾石英材料科技有限公司 、中材高新江苏硅材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 薄雷明 、程尚栩 、栾振祥 、张存君 、王祥 、许振午 、李建德 、管琪 、冯亚彬 。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 32652-2016 现行

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

基础信息

标准号
GB/T 32652-2016
发布日期
2016-04-25
实施日期
2016-11-01
上次复审日期
2016-12-31
上次复审结论
继续有效
标准计划
20110063-T-469
标准类别
产品
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会封装分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

薄雷明
程尚栩
王祥
许振午
冯亚彬
栾振祥
张存君
李建德
管琪

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