国家标准项目《纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 西安交通大学 、中国计量科学研究院 、陕西省计量科学研究院 、杭州探真纳米科技有限公司 。

范围：本标准规定了基于碳纳米管探针的测量方法，广泛适用于微纳米尺度大深宽比结构测量，其它微纳结构也可参考此方法。 主要技术内容：研究用于大深宽比微纳结构测量的碳纳米管探针可控制备方法；制定碳纳米管探针的选型、表征和校准规范；研究大深宽比微纳结构的测量和评估方法；研究半导体芯片中大深宽比微纳结构的测量应用。