国家标准项目《半导体器件 柔性可拉伸半导体器件 第2部分:柔性器件的电子迁移率、亚阈值摆幅和阈值电压评价方法》由 TC78(全国半导体器件标准化技术委员会)归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。
主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所 、浙江清华柔性电子研究院 、厦门大学 。
| 31 电子学 |
| 31.080 半导体分立器件 |
| 31.080.99 其他半导体分立器件 |
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62951-2:2019。
采标中文名称:半导体器件 柔性可拉伸半导体器件 第2部分:柔性器件的电子迁移率、亚阈值摆幅和阈值电压评价方法。
该标准描述柔性半导体器件中柔性薄膜晶体管的电性能评价方法,以确定材料TFT器件弯曲状态下的性能和可靠性。主要技术内容如下: (1)范围:规定了本标准的目的和适用范围,即柔性半导体器件中柔性薄膜晶体管电性能评价方法。 (2)规范性引用文件:列出了引用的其他标准。 (3)术语和定义:规定了“柔性薄膜晶体管”、“迁移率”、“亚阈值摆幅”等术语的具体含义。 (4)测试方法:规定了柔性薄膜晶体管弯曲状态电性能测试流程、弯曲前后迁移率等电参数详细测试方法、测试报告输出形式等内容。