国家标准计划《光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法》由 TC431（全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国石油和化学工业联合会。

主要起草单位 中国乐凯集团有限公司 、合肥乐凯科技产业有限公司 。

光学薄膜应用范围广泛，如：手机、电脑屏幕、液晶显示、LED照明、眼镜片、光学器件以及光学仪器等。

薄膜的性质主要由薄膜成分以及薄膜内部结构所决定。

因此，从薄膜成分、微结构入手，找到制备工艺对薄膜微结构的影响以及薄膜结构与薄膜性质之间的关系具有重要意义。

缺陷对于薄膜的光学、电学、热力学等性质有很重要的影响，缺陷研究在薄膜制备、薄膜检测以及薄膜表征等领域中都有极其重要的意义。

缺陷发生在薄膜内部，则其特征和运动行为与在块材中情况一样；如果发生在表面或界面，则形成薄膜表面的点缺陷，对其薄膜的结构和特性有显著的影响。

光学薄膜按应用分为反射膜、增透膜、滤光膜、光学保护膜、偏振膜、分光膜和位相膜等。

在本行业（光学功能薄膜领域）的产品标准中，比如防眩光薄膜、自修复硬化膜、盖板用透明硬化膜、光学级聚酯薄膜(PET)偏光片保护膜、热弯成型保护膜、偏光片用TAC薄膜中表观质量检测都是目测法。

还有一种：光学薄膜在线瑕疵检测系统能够代替人工肉眼对薄膜生产进行实时在线检测，使得工人能够及时的对不良进行处理。

有效的节约了人工成本，提高了产品质量。

因此薄膜瑕疵在线检测系统成为自动化薄膜生产线中一部分。

存在的问题是：1、在线瑕疵检测系统的检测幅宽跟生产线仪器幅宽一致，且只能进行动态（即生产过程中）检查，比检查幅宽小、静态样片弊病不能检查。

2、仪器辐射大，运行期间操作人员不能靠近。

上述方法存在的问题是：精度低，弊病分类不准确。

目测通常无法清楚看到弊病点形貌，弊病点目测为黑点，再通过显微镜分析实质是孔洞的情况时有发生。

依靠目测早已无法满足生产和高速的薄膜生产线的需求，容易造成质量的损失。

为了避免“误判”的事情出现，应采用显微镜进行样品表观真实形貌的表征。

本标准就是从实际生产需要出发，根据其在显微镜下表象不同而做区分。

扫描电子显微镜是聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。

由电子枪发射出的电子束，在加速电压的作用下，经过电磁透镜汇聚成一个细小的电子探针，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，电子探针在试样表面作光栅状扫描。

高能量电子与所分析试样物质相互作用，会产生各种信息。

所获得各种信息的二维强度和分布与试样的表面形貌、晶体取向及表面状态等因素有关，所以通过接收和处理这些信息，便可以得到表征试样微观形貌的扫描电子图像。

在传统光学显微镜基础上，激光扫描共聚焦显微镜用激光作为光源，采用共轭聚焦原理和装置，并利用计算机对所观察的对象进行数字图像处理观察、分析和输出。

其特点是可以对样品进行断层扫描和成像，进行无损伤观察和分析细胞的三维空间结构。

本标准是对光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜检测方法，到目前为止，还没有国标或行标涉及此类内容。

本文件规定了通过扫描显微镜检测光学功能薄膜产品表观质量的方法。 本文件适用于光学功能薄膜。