国家标准项目《电子级八甲基环四硅氧烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南大光电半导体有限公司 、江苏南大光电材料股份有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、乌兰察布南大微电子材料有限公司 、中芯南方等 。

标准的技术内容包括：一般要求、设计、材料、外观、结构完整性、化学性能、物理性能、环境性能和特殊性能要求等，以及质量保证要求、交货要求等。 本项目的适用范围为：电子级八甲基环四硅氧烷（以下简称OMCTS）产品的技术要求、质量保证和交货准备等规定；适用于CVD沉积工艺所用的硅基前驱体。 项目建议为推荐性国家标准。