国家标准计划《电子级N-甲基-2-吡咯烷酮》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 晶瑞电子材料股份有限公司 、上海集成电路材料研究院 。
该标准适用于集成电路及面板用电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)。 主要技术指标和检测方法: 技术指标:主要化学成分、色度、水分、外观、总胺含量、非金属杂质和金属杂质、颗粒数 检验方法:规定以上技术指标的检验方法