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国家标准计划《电子级N-甲基-2-吡咯烷酮》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 晶瑞电子材料股份有限公司上海集成电路材料研究院

目录

基础信息

计划号
20231185-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2023-12-01
公示开始日期
2023-07-20
公示截止日期
2023-08-19
标准类别
产品
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

目的意义

集成电路制造用材料的各种指标要求严,标准化程度高,其中电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)作为其中重要的一种制程材料,其产品质量一旦发生波动,直接影响集成电路的生产与质量。

此外,随着电子行业的快速发展,电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)的需求量不断攀升。

然而,针对电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP),目前国内尚无统一的国家标准,市场上产品良莠不齐,不利于目前国内电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)产业的快速发展和生产应用。

晶瑞电材在集成电路材料领域耕耘20余年,作为超高纯电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)国产化的领军企业,产品已经在中芯国际、华虹等批量应用,建立了一套成熟的电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)制备及标准化的检测方法。

本项目旨在通过对电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)客户的要求进行分析、归纳、总结,制定电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)技术规格及其检测方法的通用技术标准,为电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)提供品质保障;实现国内高纯电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)的技术能力,为促进国内电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)产业的良性健康发展提供指引方向。

范围和主要技术内容

该标准适用于集成电路及面板用电子级N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)。 主要技术指标和检测方法: 技术指标:主要化学成分、色度、水分、外观、总胺含量、非金属杂质和金属杂质、颗粒数 检验方法:规定以上技术指标的检验方法