国家标准项目《电子级磷酸》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、江苏江阴市润玛电子材料有限公司 、晶瑞电子材料股份有限公司 。

本标准规定了电子级磷酸的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于电子工业用磷酸。 本次修订新增E3级别磷酸，适用于8-12寸集成电路用。其中单项金属离子不超过1-5ppb，阴离子同步降低。