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国家标准计划《LED外延芯片用砷化镓衬底》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 大庆溢泰半导体材料有限公司中国科学院半导体研究所中科晶宇芯源(大庆)半导体材料有限公司江苏华兴激光科技有限公司中山德华芯片技术有限公司

目录

基础信息

计划号
20231115-T-469
制修订
修订
项目周期
16个月
下达日期
2023-12-01
公示开始日期
2023-07-20
公示截止日期
2023-08-19
标准类别
产品
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

范围和主要技术内容

本次修订的LED外延芯片用砷化镓衬底标准与GB/T 30856-2014相比,主要技术变动如下: a)增加“Φ200mm”直径规格砷化镓衬底 ; b)电学性能需要增加n型和p掺杂剂及截面电阻率均匀性; c)增加“Φ200mm”直径规格参考面的取向、形状和尺寸 ; d)更改晶向及晶向偏离角度,增加常规的标准化产品角度; e)增加“Φ200mm”规格的外形尺寸,修改厚度范围、修改平整度(TIR)、总厚度变化(TTV)、翘曲度(Warp); f)增加不同直径不同等级的位错密度; g)检验项目中增加复测检验晶向及晶向偏移度; h)修改包装盒标志内容; 增加25片卡塞包装。