国家标准计划《LED外延芯片用砷化镓衬底》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 大庆溢泰半导体材料有限公司 、中国科学院半导体研究所 、中科晶宇芯源(大庆)半导体材料有限公司 、江苏华兴激光科技有限公司 、中山德华芯片技术有限公司 。
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
本次修订的LED外延芯片用砷化镓衬底标准与GB/T 30856-2014相比,主要技术变动如下: a)增加“Φ200mm”直径规格砷化镓衬底 ; b)电学性能需要增加n型和p掺杂剂及截面电阻率均匀性; c)增加“Φ200mm”直径规格参考面的取向、形状和尺寸 ; d)更改晶向及晶向偏离角度,增加常规的标准化产品角度; e)增加“Φ200mm”规格的外形尺寸,修改厚度范围、修改平整度(TIR)、总厚度变化(TTV)、翘曲度(Warp); f)增加不同直径不同等级的位错密度; g)检验项目中增加复测检验晶向及晶向偏移度; h)修改包装盒标志内容; 增加25片卡塞包装。