国家标准项目《电子气体 惰性稀有气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、杭氧集团股份有限公司 、武汉钢铁集团气体有限责任公司 、广钢气体（广州）有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、北京首钢气体有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司等 。
| 71 化工技术 |
| 71.100 化工产品 |
| 71.100.20 工业气体 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 昊华气体有限公司 | 电子级惰性稀有气体包含氪气、氙气、氖气，主要应用于半导体刻蚀及光刻机，每年需求量上百万吨。近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 惰性稀有气体》国家标准英文版。 |
本文件规定了电子级惰性稀有气体的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于工业惰性稀有气体为原料提纯制得的电子用惰性稀有气体。
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