国家标准计划《电子气体 氧化亚氮》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、浙江西亚特电子材料有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。

电子级氧化亚氮主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。

氧化亚氮作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准、符合《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019 年版）》中电子化工新材料的“特种气体”。

随着集成电路技术进步，晶圆制造达到12英寸，对高纯氧化亚氮的质量提出更高要求， 目前，现行的电子用氧化亚氮标准（GB/T 14600-2009）已经执行近14年，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。

2009版标准已无法现代集成电路产业的要求，因此建议重新修订该标准。

通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业的发展提供质量保障。

有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。

本文件规定了电子级氧化亚氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于以硫工业氧化亚氮为原料提纯制得的电子用氧化亚氮。 修订的内容如下： ——更改了名称（见封面，2009年版的封面） ——更改了范围（见第1章，2009年版的第1章） ——更改了规范性引用文件（见第2章，2009年版的第2章） ——增加了“术语和定义”一章（见第3章） ——更改了技术要求（见第4章，2009年版的第3章） ——更改了采样的要求（见第5章，2009年版的4.1.2） ——更改了纯度计算方法（见6.1，2009年版的4.2） ——更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法（见6.2，2009年版的4.5、4.7） ——增加了氢含量的测定方法（见6.2） ——更改了总烃含量的测定方法（见6.3，2009年版的4.6） ——更改了氨、一氧化氮、二氧化氮含量的测定方法（见6.4，2009年版的4.4、4.9、4.10） ——更改了水分含量的测定方法（见6.5，2009年版的4.11） ——更改了检验规则（见第7章，2009年版的4.1.1） ——更改了标志、包装、运输及贮存（见第7章,2009年版的第5章） ——增加了安全信息的内容（见附录A） ——增加了“参考文献 ”（见“参考文献 ”）。