国家标准计划《电子气体 大宗气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、杭氧集团股份有限公司 、广钢气体（广州）有限公司 、北京首钢气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。

电子级大宗气体主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。

大宗气体作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准、符合《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019 年版）》中电子化工新材料的“特种气体”。

近年来，电子技术更新迭代较快，特别是集成电路领域，制程节点不断缩小、晶圆尺寸日渐扩大，在此背景下，市场对电子大宗气体是精度、纯度等也提出了更高的要求，其中先进集成电路气体纯度要求通常在6N（99.9999%）以上。

现行的电子用大宗气体标准包含GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》、GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》、GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》、GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》、GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》，这些标准已经执行近14年，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。

2009版标准已无法现代集成电路产业的要求，因此根据国家标准体系优化的成果，建议整合修订这5项标准。

通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业的发展提供质量保障。

有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。

本文件规定了电子级大宗气体的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于工业大宗气体为原料提纯制得的电子用大宗气体。 修订的内容如下： ——更改了名称（见封面，GB/T 16942-2009的封面、GB/T 14604-2009的封面、GB/T 16945-2009的封面、GB/T 16944-2009的封面、GB/T 16943-2009的封面） ——更改了范围（见第1章，GB/T 16942-2009的第1章、GB/T 14604-2009的第1章、GB/T 16945-2009的第1章、GB/T 16944-2009的第1章、GB/T 16943-2009的第1章） ——更改了规范性引用文件（见第2章，GB/T 16942-2009的第2章、GB/T 14604-2009的第2章、GB/T 16945-2009的第2章、GB/T 16944-2009的第2章、GB/T 16943-2009的第2章） ——增加了“术语和定义”一章（见第3章） ——更改了技术要求（见第4章，GB/T 16942-2009的第3章、GB/T 14604-2009的第3章、GB/T 16945-2009的第3章、GB/T 16944-2009的第3章、GB/T 16943-2009的第3章） ——更改了采样的要求（见第5章，GB/T 16942-2009的4.1.3、GB/T 14604-2009的4.1.3、GB/T 16945-2009的4.1.3、GB/T 16944-2009的4.1.3、GB/T 16943-2009的4.1.3） ——更改了纯度计算方法（见6.1，GB/T 16942-2009的4.2、GB/T 14604-2009的4.2、GB/T 16945-2009的4.2、GB/T 16944-2009的4.2、GB/T 16943-2009的4.2） ——更改了氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法（见6.2，GB/T 16942-2009的4.3、4.4、GB/T 14604-2009的4.3、4.4、GB/T 16945-2009的4.3、GB/T 16944-2009的4.3、GB/T 16943-2009的4.3） ——更改了总烃含量的测定方法（见6.3， GB/T 16942-2009的4.5、GB/T 14604-2009的4.6、4.4、GB/T 16945-2009的4.4、GB/T 16944-2009的4.4、GB/T 16943-2009的4.4） ——更改了水含量的测定方法（见6.4， GB/T 16942-2009的4.7、GB/T 14604-2009的4.8、GB/T 16945-2009的4.6、GB/T 16944-2009的4.6、GB/T 16943-2009的4.6） ——增加了尾气处理的要求（见6.5） ——更加了检验规则（见第7章，GB/T 16942-2009的4.1、GB/T 14604-2009的4.1、GB/T 16945-2009的4.1、GB/T 16944-2009的4.1、GB/T 16943-2009的4.1） ——更改了标志、包装、运输及贮存（见第8章,GB/T 16942-2009的第5章、GB/T 14604-2009的第5章、GB/T 16945-2009的第5章、GB/T 16944-2009的第5章、GB/T 16943-2009的第5章） ——增加了安全信息的内容（见附录A） ——增加了“参考文献 ”（见“参考文献 ”）。