国家标准计划《电子气体 大宗气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、杭氧集团股份有限公司 、广钢气体（广州）有限公司 、北京首钢气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。

本文件规定了电子级大宗气体的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于工业大宗气体为原料提纯制得的电子用大宗气体。 修订的内容如下： ——更改了名称（见封面，GB/T 16942-2009的封面、GB/T 14604-2009的封面、GB/T 16945-2009的封面、GB/T 16944-2009的封面、GB/T 16943-2009的封面） ——更改了范围（见第1章，GB/T 16942-2009的第1章、GB/T 14604-2009的第1章、GB/T 16945-2009的第1章、GB/T 16944-2009的第1章、GB/T 16943-2009的第1章） ——更改了规范性引用文件（见第2章，GB/T 16942-2009的第2章、GB/T 14604-2009的第2章、GB/T 16945-2009的第2章、GB/T 16944-2009的第2章、GB/T 16943-2009的第2章） ——增加了“术语和定义”一章（见第3章） ——更改了技术要求（见第4章，GB/T 16942-2009的第3章、GB/T 14604-2009的第3章、GB/T 16945-2009的第3章、GB/T 16944-2009的第3章、GB/T 16943-2009的第3章） ——更改了采样的要求（见第5章，GB/T 16942-2009的4.1.3、GB/T 14604-2009的4.1.3、GB/T 16945-2009的4.1.3、GB/T 16944-2009的4.1.3、GB/T 16943-2009的4.1.3） ——更改了纯度计算方法（见6.1，GB/T 16942-2009的4.2、GB/T 14604-2009的4.2、GB/T 16945-2009的4.2、GB/T 16944-2009的4.2、GB/T 16943-2009的4.2） ——更改了氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法（见6.2，GB/T 16942-2009的4.3、4.4、GB/T 14604-2009的4.3、4.4、GB/T 16945-2009的4.3、GB/T 16944-2009的4.3、GB/T 16943-2009的4.3） ——更改了总烃含量的测定方法（见6.3， GB/T 16942-2009的4.5、GB/T 14604-2009的4.6、4.4、GB/T 16945-2009的4.4、GB/T 16944-2009的4.4、GB/T 16943-2009的4.4） ——更改了水含量的测定方法（见6.4， GB/T 16942-2009的4.7、GB/T 14604-2009的4.8、GB/T 16945-2009的4.6、GB/T 16944-2009的4.6、GB/T 16943-2009的4.6） ——增加了尾气处理的要求（见6.5） ——更加了检验规则（见第7章，GB/T 16942-2009的4.1、GB/T 14604-2009的4.1、GB/T 16945-2009的4.1、GB/T 16944-2009的4.1、GB/T 16943-2009的4.1） ——更改了标志、包装、运输及贮存（见第8章,GB/T 16942-2009的第5章、GB/T 14604-2009的第5章、GB/T 16945-2009的第5章、GB/T 16944-2009的第5章、GB/T 16943-2009的第5章） ——增加了安全信息的内容（见附录A） ——增加了“参考文献 ”（见“参考文献 ”）。