国家标准计划《电子气体 六氟化硫》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、江苏雅克科技股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。

电子级六氟化硫主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。

六氟化硫作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准、符合《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019 年版）》中电子化工新材料的“特种气体”。

随着集成电路技术进步，晶圆制造达到12英寸，对高纯六氟化硫的质量提出更高要求， 目前，现行的电子用六氟化硫标准（GB/T 18867-2014）已经执行近9年，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。

2014版标准已无法现代集成电路产业的要求，因此建议重新修订该标准。

通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业的发展提供质量保障。

有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。

本文件规定了电子级六氟化硫的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于以硫与氟直接反应并经精制纯化或以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。 修订的内容如下： ——更改了名称（见封面，2014年版的封面）； ——更改了范围（见第1章，2014年版的第1章）； ——更改了规范性引用文件（见第2章，2014年版的第2章）； ——增加了“术语和定义”一章（见第3章）； ——更改了技术要求（见第4章，2014年版的第3章）； ——增加了“采样”一章（见第5章）； ——更改了纯度计算方法（见6.1，2014年版的4.2）； ——更改了氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法（见6.2，2014年版的4.3）； ——增加了六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定方法（见6.2）； ——更改了可水解氟化物的测定方法（见6.5， 2014年版的4.6）； ——更改了检验规则（见第7章， 2014年版的4.1）； ——更改了标志、包装、运输及贮存（见第8章,2014年版的第5章）； ——删除了“六氟化硫中氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定”规范性附录（2014年版的附录 A）； ——增加了安全信息的内容（见附录A）； ——增加了“参考文献 ”（见“参考文献 ”）