国家标准计划《高纯氟化铵溶液》由 TC63（全国化学标准化技术委员会）归口，TC63SC1（全国化学标准化技术委员会无机化工分会）执行 ，主管部门为中国石油和化学工业联合会。

主要起草单位 中巨芯科技股份有限公司 、多氟多新材料股份有限公司 、贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司 、浙江凯圣氟化学有限公司 、贵州川恒化工股份有限公司 、福建永晶科技股份有限公司 、云南氟磷电子科技有限公司 、宁夏盈氟金和科技有限公司 、瑞士万通中国有限公司 、中海油天津化工研究设计院有限公司 。

本文件规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随性文件、包装、运输和贮存。 本文件适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。 本文件规定了高纯氟化铵溶液的技术指标要求和分析方法，涉及氟化铵含量、水分、氟硅酸铵、色度、pH、氯化物、硝酸盐、磷酸盐、硫酸盐、颗粒和银、铝、砷等35项阳离子指标。分析方法根据指标要求进行设置，为了提高测定方法的精密性，缩短分析时间，修订时增加自动电位滴定法。