国家标准计划《真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 兰州空间技术物理研究所 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 19685:2017。

采标中文名称:真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度。

皮拉尼真空计主要用于真空系统中中、低真空度的测量，不仅用作真空中的泄漏检测和残余气体分析，还可用作在工艺和控制过程中提供定量分析的仪器。

如，在光伏、镀膜、等离子行业用于测量各种高真空泵的前级压力；在照明、冶金行业测量低真空泵度；用于高真空计的点火开关控制，实现真空连锁控制；在真空炉、单晶炉、多晶炉和蓝宝石炉上用作真空测量装置等。

但由于真空系统中使用气体的总压力、混合气体成分、环境条件等因素对皮拉尼计测量信号及其不确定度和数据分析有重大影响，而测量范围、不确定度限值、分辨率、工作温度、安装方向、传感器材料、烘烤温度等参数又对皮拉尼真空计的精确测量和校准有着显著影响。

实际使用时，要么在实际使用条件下进行校准，要么在指定条件下进行校准，存在许多影响因素。

因此，需要对皮拉尼计的使用、校准等操作规定适当的方法和要求，以便用户能够比较不同制造商的设备并正确使用皮拉尼真空计，同时按照标准化程序，生产、使用、检测、校准皮拉尼真空计，进而促进其质量提升，准备进行不确定度分析，以便实现皮拉尼真空计量值的准确传递与统一。

也进一步完善了我国真空计校准方面的标准体系，填补了国内空白。

本文件等同转化19685:2017，定义了与皮拉尼真空计相关的术语，并规定了皮拉尼真空计的参数、校准步骤以及在使用皮拉尼真空计时需考虑的测量不确定度。本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa~ 150 kPa 的皮拉尼真空计。当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准计时，本文件是对 GB/T 34873-2017和 ISO 27893的有效补充。 本文件的主要技术内容包括皮拉尼真空计的测量原理、常用规范和附加规范、校准程序和测量不确定度评估等，并定义了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征程序。