国家标准计划《微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京化工大学 、中国科学院化学研究所 。

本标准修改采用ISO国际标准：ISO 23420:2021。

采标中文名称:微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法。

电子能量损失谱仪（EELS）是常配置于中高端电子显微镜中的一种分析型附件，通过电子能量损失分析，可以了解材料的化学成分、原子成键和电子结构等信息，目前广泛使用在国内高校、科研院所和高科技企业，对于新材料、绿色化工、芯片制造技术等重点领域的研究和开发起到越来越重要的作用。

对于基于能量损失谱峰分解和能量偏移的精确分析，确定EELS谱仪系统的能量分辨率至关重要。

然而，其能量分辨率的测定方法至今国内尚未建立标准。

ISO与2021年刚刚发布了第一个相关国际标准（ISO 23420:2021），及时将该标准转化为国家标准，将有力促进和规范EELS技术在我国的发展和应用。

本标准主要规范配备电子能量损失谱仪（EELS）的扫描透射电子显微镜或透射电子显微镜中能量分辨率的测定程序，适用于各种类型的EELS谱仪和检测方式。主要技术内容包括：术语和定义；能量分辨率的定义；标准样品和参考能量值的测定；测量步骤和能量分辨率的确定；能量分辨率测量结果的不确定度。两个资料性附录分别给出测定程序的应用实例和关于碳K边确定方法的讨论。