国家标准计划《电子探针定量分析方法通则》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 核工业北京地质研究院等 。

本文件规范了应用电子探针对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。 本文件规定了电子探针定量分析过程中仪器的安装要求、工作条件、标样选择、基本操作过程、各种校正处理方法及结果报告内容等。 主要技术内容包括：1 范围；2 规范性引用文件；3 方法原理；4 电子探针分析仪基本结构；5 仪器的环境条件；6 测量前的准备；7 测量条件的选择；8 标样的选择；9 测量过程概述；10 电子束入射电流的测量；11 标样中的元素X射线强度测量；12 试样中各元素的X射线强度测量；13 电子探针定量分析的基体校正；14 测量不确定度；15 允许分析误差；16 结果报告；附录A 电子探针定量分析不确定度评定示例；参考文献。