国家标准计划《微束分析 聚焦离子束 透射电镜样品制备方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京科技大学 、天津大学 、南京大学 、首钢集团有限公司 、上海交通大学 、哈尔滨工业大学 。

目的: 随着科学技术的发展，聚焦离子束系统越来越多地应用于材料科学、生物、半导体集成电路、数据储存磁盘等领域的先进微纳加工技术中。

由于聚焦离子束系统进行微纳加工时，加工定位精确，可以在扫描电镜的在线观察下，准确选择感兴趣的相组织、相界面作为制样区域，有利于连续观测晶粒内部、晶界处的晶格变化，因此已广泛应用在透射电镜样品制备等领域。

为此以聚焦离子束的工作通则为基础，充分考虑到各种聚焦离子束设备的共性和不同材料透射电镜样品制备的过程差异，提出了透射电镜样品制备的聚焦离子束标准方法。

意义： 聚焦离子束系统是近年发展起来的国际先进的观察材料显微形貌，对材料进行透射样品制备的微纳加工设备，为透射电子显微镜样品提供了可见的位点特异性制备，从而提高了对微观结构演变的理解。

目前国内外尚无聚焦离子束系统制备透射电镜样品的国际标准和国家标准，该标准的建立为聚焦离子束领域的透射电镜样品制备提供了规范。

1、 范围 本标准规定了聚焦离子束法制备透射电镜样品的分析方法原理、分析环境要求、仪器、分析样品、分析步骤、结果报告和安全注意事项。 本标准适用于各类型聚焦离子束系统。 2、 主要技术内容 基于目前国际上最为先进的透射电镜样品聚焦离子束制备方法，结合各种聚焦离子束设备的共性和不同材料透射电镜样品制备的过程差异，提出了： （1）常规透射电镜样品制备的聚焦离子束标准方法:电子束沉积；离子束沉积；粗切；细切；U切；提取；减薄；清洗；取样。 （2）特殊透射电镜样品制备的聚焦离子束标准方法,包括亚稳材料；多相材料；多孔材料；生物材料等技术内容。