国家标准计划《半导体器件 柔性可拉伸半导体器件 第6部分：柔性导电薄膜的薄膜电阻测试方法》由 TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 中国电子科技集团有限公司第五十五研究所 、中国电子技术标准化研究院 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62951-6:2019。

采标中文名称:半导体器件 柔性可拉伸半导体器件 第6部分：柔性导电薄膜的薄膜电阻测试方法。

柔性半导体器件在各种工程中的应用越来越广泛，未来电子产品必将朝着小型化、柔性化、轻质化方向发展。

柔性导电薄膜也为工程项目提出了新的解决方案，例如高度集成封装的印制板之间的互连，光电子器件与印制板之间的连接等，其性能与可靠性是影响系统质量的重要因素。

柔性导电薄膜的薄膜电阻是表征其电学性能的重要参数，也是进行环境、力学等可靠性试验后评价其性能变化的关键指标。

薄膜电阻的四探针测试法和两探针测试法各有适用状态，需根据实际需求选择恰当的测试方法，需要对测试装置、测试步骤、数据处理等进行详细规定。

完善柔性半导体器件试验方法体系，统一薄膜电阻测试方法，有利于该类产品的研制、生产和管理，确保产品的质量。

该标准是等同采用的是IEC62951-6，为适时与国际接轨，需制定该标准。

适用于柔性半导体器件。主要用于柔性半导体器件的导电薄膜的薄膜电阻测量。本标准将规定柔性半导体器件导电薄膜电阻测试的适用范围、术语及定义、环境条件、测试方法、结果报告等内容。