注册

国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵》由 TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 北京中科科仪股份有限公司

目录

基础信息

计划号
20230571-T-604
制修订
制定
项目周期
16个月
下达日期
2023-08-06
公示开始日期
2023-04-03
公示截止日期
2023-05-03
标准类别
方法
国际标准分类号
23.160
23 流体系统和通用件
23.160 真空技术
归口单位
全国真空技术标准化技术委员会
执行单位
全国真空技术标准化技术委员会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 21360-4:2018。

采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵。

目的意义

涡轮分子泵因启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空等优点,可获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境,因而广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

2007年我国等同采标ISO 5302:2003《真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量》,距今已过去了19年,涡轮分子泵无论在结构上还是在性能参数上都发生了较大的变化,GB/T 7774-2007已无法满足当前的生产制造和技术应用的需要,ISO 5302:2003亦在2018年已作废。

且GB/T 40344(ISO 21360)真空泵标准体系的建立,重新规定了真空泵性能参数的测量装置和测量方法,以此为基础,针对各特性真空泵做出相应的规定,因此有必要依据国际真空泵标准体系的发展,重新制定满足当前技术需求的涡轮分子泵标准,纳入当前涡轮分子泵的最新技术要求和测试要求,更加客观准确地的对涡轮分子泵的性能进行检测评价。

该标准的制定将对涡轮分子泵的生产制造和技术研发提供有力的技术支撑,有利于我国涡轮分子泵产业与国际产品开展对标达标工作,亦能推动其应用领域的技术发展。

范围和主要技术内容

本标准适用于所有规格和所有型式的涡轮分子真空泵,以GB/T 40344.1《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分:总体要求》为基础,针对涡轮分子泵的主要特性,规定适用于涡轮分子泵的术语、定义和性能参数,同时规定了体积流率(抽速)、最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力和振动的测量装置和测量方法,也规定了涡轮分子泵试验报告的内容要求。