国家标准项目《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵》由 TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 北京中科科仪股份有限公司 。
| 23 流体系统和通用件 |
| 23.160 真空技术 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 21360-4:2018。
采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵。
本标准适用于所有规格和所有型式的涡轮分子真空泵,以GB/T 40344.1《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分:总体要求》为基础,针对涡轮分子泵的主要特性,规定适用于涡轮分子泵的术语、定义和性能参数,同时规定了体积流率(抽速)、最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力和振动的测量装置和测量方法,也规定了涡轮分子泵试验报告的内容要求。