国家标准计划《碳基薄膜 椭偏分光光度法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》由 TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口,TC57SC10(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会)执行 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 武汉材料保护研究所有限公司 。
20220331-T-604 正在征求意见
25 机械制造 |
25.220 表面处理和镀涂 |
25.220.99 其他处理和镀涂 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 23216:2021。
采标中文名称:非晶态碳基薄膜类型的测定 椭偏分光光度法。