国家标准计划《投影光刻机》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 上海微电子装备有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。
20141082-T-469 正在审查
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