国家标准项目《半导体器件 基于扫描监控技术的半导体器件退化水平评估方法》由 TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第五十八研究所 、电子科技大学 、无锡中微腾芯电子有限公司 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC TR 63133:2017。

采标中文名称:半导体器件 基于扫描监控技术的半导体器件退化水平评估方法。

本技术文件可应用于半导体器件，主要规定了一种性能评估存储单元的设计方法，它可以用于监测半导体器件的退化程度并量化其退化水平。 主要技术内容为一种利用阴影锁存器和相位变换的时钟信号的有效退化水平监测方案。阴影锁存器通过相位偏移时钟对早于功能存储元件的信号进行采样，其中相位偏移量被精确地控制。然后将具有功能时钟和相位变换的时钟信号的采样数据进行比较，以观察任何路径延迟。可以通过精确地改变相位偏移量和监测范围内的任何延迟故障来评估器件退化程度。