国家标准项目《微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-10:2011。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第10部分：MEMS材料微柱压缩试验方法。

本文件规定了微柱压缩测试方法，用于测量MEMS材料的压缩特性，需要制作高精度、可重复和适当的试样，测量试样单向压缩应力-应变的关系，得到试样压缩弹性模量和屈服强度。 试样是用微加工技术在坚硬的(或高刚性)基体上加工的圆柱，其径高比(直径与高度的比值)应大于3。本文件适用于金属、陶瓷、高分子材料。本文件主要技术内容包括范围、引用标准、定义和符号、测试方法、测试设备、测试试件、测试条件和测试报告等。