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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所苏州市质量和标准化院中国科学院中科院微电子研究所中机生产力促进中心有限公司等

目录

基础信息

计划号
20221875-T-469
制修订
制定
项目周期
16个月
下达日期
2022-12-30
申报日期
2022-03-10
公示开始日期
2022-08-15
公示截止日期
2022-08-29
标准类别
方法
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-18:2013。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第18部分:薄膜材料的弯曲试验方法。

目的意义

微机电技术迅猛发展,基于微机电技术的产品已广泛应用于消费电子、汽车、工业、国防等领域,典型产品包括加速度计、陀螺仪、压力计、微振镜、滤波器等。

微机电器件含有的微机械结构具有可动特点,薄膜是其典型且关键结构,薄膜特性直接关系着微机电器件的性能、可靠性等特性,需要对其特性开展测量。

本标准的制定可面向微机电器件的结构加工、产品研制、产品应用、产品检验等单位开展应用,对微机电器件产品的推广应用具有重要作用。

范围和主要技术内容

薄膜是MEMS产品的主要结构材料,本标准规定了长度和宽度小于1mm、厚度在0.1μm和10μm之间的薄膜材料的弯曲试验方法。本标准规定了微尺寸光滑悬臂型试样的弯曲试验和试样形状,从而保证了与特殊特性相对应的精度。 主要技术内容包括:试件(包括试件的设计、准备、尺寸测量、测试前的存储),测试方法(包括一般原则、试件的安装方法、加载方法、测试速度、位移测量、测试环境、数据分析、试件材料),测试报告(包括强制性选项、可选项)等内容,还包括试件/基板界面的注意事项、力-位移关系的注意事项等附录内容。