国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 河北美泰电子科技有限公司 、中电国基北方有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-41:2021。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 射频第41部分：MEMS环行器和隔离器。

近年来，微波产品在通信、电子测量、环境监测、安检、医疗设备、航空航天、物联网等关乎国计民生的众多领域中广泛应用，而微波环行器/隔离器是一类不可缺少的基础件和关键件，且随着5G时代的到来，移动通信，汽车自动驾驶微波雷达、卫星通信等向高频段发展，射微波环行器/隔离器作为实现全双工微波通信天线收发组件方案的关键器件，其种类、应用和市场必将迎来爆发式增长。

相关应用对微波环行器/隔离器的基本要求是低插入损耗、高隔离度、宽频带、高功率以及高的温度稳定性、小型化、低成本。

RF MEMS环行器/隔离器具有体积小、插入损耗低、功率容量打完、适合批量制造等系列优点，最适合微波频段应用，是当前微波环行器最先进和主流的技术方案。

大量RF MEMS环行器/隔离器已广泛应用于各种3G、4G等通信制式中，随着5G通信在全国范围内的大力推广，未来射频类电子产品年产值达数百亿美元以上。

而5G通信对射频器件提出了更小型化，更高性能，更高频段等需求，传统的射频环行器/隔离器等元器件应用受限，而RF MEMS环行器/隔离器的小体积、高频段等性能优势突出，能很好的满足5G通信基站设备的要求。

随着未来5G基站的大范围建设，RF MEMS环行器/隔离器具有广阔的产业和市场空间。

本标准等同采用的IEC 62047-41: 2021，用来规范和统一MEMS环行器和隔离器的术语、定义、电性能参数、测试方法和可靠性要求等，是该类产品的重要的、基础性的标准。

适时转化国际标准，技术内容与国际接轨，对于指导和规范我国MEMS环行器/隔离器的研发和应用，具有重要的意义。

MEMS环行器/隔离器的规范与发展，不仅为国内射频元器件的生产制造提供可靠保障、提升国产自主能力、保障核心竞争力，更是对促进国内5G基站建设的技术革新和提高企业的整体技术水平具有重要推动作用，具有良好的社会和经济效益，符合国家核心电子器件国产化的战略目标。

本标准主要包括范围、引用文件、术语和定义、基本参数、测试方法、可靠性测试等六个部分等六个部分。 对环行器、隔离器等通用术语及插入损耗、隔离度、回波损耗、驻波比、输入阻抗、磁泄漏等射频特性参数指标进行了定义。简要介绍了产品工作原理、产品典型结构、型号标识要求、使用说明、使用条件、射频特征参数、环境参数等方面的内容，详细阐述了相关参数的测试目的、测试框图、测试原理、注意事项、测试程序、测试条件以及功率容量、寿命、冲击、振振动、引线键合及可焊性等的可靠性测试。