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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 金属薄膜材料成形极限测量方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 合肥美的电冰箱有限公司中机生产力促进中心有限公司等

目录

基础信息

计划号
20221869-T-469
制修订
制定
项目周期
16个月
下达日期
2022-12-30
申报日期
2022-03-10
公示开始日期
2022-08-15
公示截止日期
2022-08-29
标准类别
方法
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-14:2012。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第14部分:金属薄膜材料成形极限测量方法。

目的意义

压印等成型工艺是制造MEMS中使用的金属薄膜材料的常见工艺,该工艺制造的材料有可能出现失效的现象,从而导致产品的可靠性下降。

制定规范有效的材料失效测量方法,有助于MEMS器件设计和制造工艺的优化。

本文件涉及一种微纳结构金属薄膜材料的测量方法,用于预测成型工艺制造过程中的材料失效。

通过预测,可以缩短产品开周期,降低制造成本。

本文件的应用可为MEMS器件的制造工艺提供共性技术支撑,推动新型MEMS技术发展,推动新型MEMS器件的产业化。

范围和主要技术内容

本文件描述了厚度范围为0.5μm至300μm的金属薄膜材料成型极限的测量方法的定义和程序。该金属薄膜材料通常用于电子元件、MEMS和微型器件中。 当MEMS中使用的金属薄膜材料通过压印等成型工艺制造时,有必要预测材料失效,以提高部件的可靠性。通过这种预测,可以缩短产品开发周期,降低制造成本,从而提高通过成形工艺制造微机电系统部件的效率。本标准介绍了压印过程中材料失效的预测方法之一。 本文件的主要技术内容包括范围、引用标准、术语和定义、符号、测试方法、测试设备、测试样本、测试程序、数据分析和测试报告等部分。