国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 金属薄膜材料成形极限测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥美的电冰箱有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-14:2012。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第14部分：金属薄膜材料成形极限测量方法。

压印等成型工艺是制造MEMS中使用的金属薄膜材料的常见工艺，该工艺制造的材料有可能出现失效的现象，从而导致产品的可靠性下降。

制定规范有效的材料失效测量方法，有助于MEMS器件设计和制造工艺的优化。

本文件涉及一种微纳结构金属薄膜材料的测量方法，用于预测成型工艺制造过程中的材料失效。

通过预测，可以缩短产品开周期，降低制造成本。

本文件的应用可为MEMS器件的制造工艺提供共性技术支撑，推动新型MEMS技术发展，推动新型MEMS器件的产业化。

本文件描述了厚度范围为0.5μm至300μm的金属薄膜材料成型极限的测量方法的定义和程序。该金属薄膜材料通常用于电子元件、MEMS和微型器件中。 当MEMS中使用的金属薄膜材料通过压印等成型工艺制造时，有必要预测材料失效，以提高部件的可靠性。通过这种预测，可以缩短产品开发周期，降低制造成本，从而提高通过成形工艺制造微机电系统部件的效率。本标准介绍了压印过程中材料失效的预测方法之一。 本文件的主要技术内容包括范围、引用标准、术语和定义、符号、测试方法、测试设备、测试样本、测试程序、数据分析和测试报告等部分。