国家标准项目《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。

本文件规定了在温度、湿度和外加电压条件下测量被测部件耐久性的试验方法和试验条件。它进一步适用于评估主要在硅基上形成的压电薄膜的压电性能，即用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。一般通过测量被测器件在施加温度和湿度环境应力前后的压电性能来评估被测器件的退化程度。本文件主要技术内容包括范围、引用标准、定义和符号、测试方法、测试设备、测试试件、测试条件和测试报告等。