国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。

随着MEMS技术的不断发展和成熟，压电薄膜如或AIN在MEMS应用领域的研究越来越受到欢迎。

MEMS压电薄膜传感器主要应用领域有应变传感器、自供电无线传感器、声学和超声波装置、扫描探针显微镜的精确定位、燃油喷射系统、主动阻尼控制和自适应控制系统等，与传统的体积型、静电型或电磁薄膜相比具有更低的功耗、更高的灵敏度和更快的响应速度。

但是压电薄膜材料的性能对器件的性能影响很大，为了实现可行的MEMS压电薄膜，有必要了解其在温度和湿度的环境应力作用下压电性能的变化，并进行适当的质量评估。

本文件涉及一种评估MEMS压电薄膜材料在环境应力和机械应力和应变下的耐久性的测试方法，对MEMS压电薄膜环境试验方法达成统一，能够发现产品问题所在，提高产品质量，降低生产成本。

推动建立相关产业压电薄膜质量评估标准体系，可以用作产品交付的依据，促进压电薄膜在传感器应用领域的进一步发展。

同时能够推动我国在MEMS技术领域的标准化工作，推动产业发展。

本文件规定了在温度、湿度和外加电压条件下测量被测部件耐久性的试验方法和试验条件。它进一步适用于评估主要在硅基上形成的压电薄膜的压电性能，即用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。一般通过测量被测器件在施加温度和湿度环境应力前后的压电性能来评估被测器件的退化程度。本文件主要技术内容包括范围、引用标准、定义和符号、测试方法、测试设备、测试试件、测试条件和测试报告等。