国家标准项目《微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京自动化控制设备研究所 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-30:2017。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法。

本标准规定了用于微传感器和微执行器的压电薄膜机电转换特性的测量方法，限定了应用于消费级、工业级或其他方面的压电器件特征参数的报告模式。 本文件适用于用MEMS工艺制备的压电薄膜。 本标准采用基于正/逆压电效应的悬臂梁测量法，将压电薄膜及其上下电极集成到硅基悬臂梁上制成压电悬臂梁结构，测量薄膜的横向压电系数。