国家标准项目《氮化硅陶瓷基片》由 TC194（全国工业陶瓷标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 中材高新氮化物陶瓷有限公司 、山东工业陶瓷研究设计院有限公司 、中材高新材料股份有限公司 。

本文件规定了功率电子器件用氮化硅陶瓷基片的产品分类与标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于功率电子器件用氮化硅陶瓷基片，其它功能用陶瓷基片可参照本文件。 本文件对氮化硅基片的性能参数做了详细的规定。