国家标准项目《贵金属键合丝热影响区长度测定 扫描电镜法》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行 ,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 。
| 77 冶金 |
| 77.040 金属材料试验 |
| 77.040.99 金属材料的其他试验方法 |
此标准适用于直径50μm以下的各种含金、银的贵金属键合丝热影响区长度的测量,扩大了贵金属键合丝热影响区长度可测的直径范围(传统金相法已无法满足直径30μm以下的键合丝热影响区长度测量)。 该标准的主要内容是:键合丝纵截面制样技术和热影响区判定方法及长度的测量。其中制样技术采用先进的聚焦离子束(FIB)法,该方法无需镶嵌、磨抛,制样时间短、且成功率高,采用双束或多束扫描电镜上的聚焦离子束模块来切割并抛光试样,从而制备出超细键合丝的纵截面,再通过离子束成像技术,获得明显衬度的键合丝晶粒组织图像。技术规范主要包含离子束诱导沉积、粗切、精切和成像的参数设置,电压、电流的选择等。 热影响区的测量方法采用图片定性与曲线定量两种方法。其中图片定性是初步判定并直接测量的方法,根据键合丝纵截面组织球颈端沿长度方向的晶粒形状和大小的变化,将截面组织划分为完全热影响区、部分热影响区和未受影响区组织。热影响区长度包括完全热影响区和部分热影响区长度之和。用扫描电镜自带测量工具直接测量热影响区长度,并取平均值,作为该样品热影响区长度最终结果。热影响区长度的测量及数据处理可参考GB/T16594-2008《微米级长度的扫描电镜测量方法通则》来进行。另一种是截线定量测定法。以球颈端为起点,沿直径方向作不小于直径长度的直线,记录该直线与晶界的截点数,沿长度方向以固定步长作不小于直径长度的平行线,并记录每条直线与晶界的截点数。统计沿丝长度方向截点数变化曲线,必然呈逐渐上升并稳定较高水平,当曲线斜率刚好为零时所对应的横坐标即确定为热影响区长度。