国家标准项目《氧化铟锡靶材》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 先导薄膜材料（广东）有限公司 、株洲冶炼集团有限责任公司 、广西晶联光电材料有限责任公司 、中国船舶重工集团公司第725研究所 、芜湖映日科技有限公司 、云南戊电靶材科技有限公司 、中山智隆新材料科技有限公司 、云南省科学技术院 。

修订的主要内容如下： 1、更改了适用范围：将“适用于质量比为In2O3: SnO2= 90: 10的氧化铟锡靶材”更改为“适用于由In2O3 和SnO2 按照一定比例混合的氧化铟锡靶材”，因为氧化铟锡靶材已发展到多类型多配比主导产品。 2、增加了规范性引用文件检测分析方法，因为配套该标准制定相应的检测标准； 3、增加了相对密度的内容，因为原标准只有一种I In2O3 : SnO2 = 90: 10质量比的类型，原标准也只提供了这种质量比的靶材理论密度。 4、更改了分类方法，将按照密度分类方法更改为按照氧化铟和氧化锡的配比分类，因为实际生产中以不同配比为不同类型； 5、更改了化学成分的要求，增加了两种配比类型93:7及97:3； 6、更改了相对密度的要求，将密度规定为大于99.6%； 7、更改了电阻率要求，将原标准电阻率≤1.6×10-4Ω·cm更改为≤1.0×10-4Ω·cm； 8、更改了物理规格中的内容，增加了旋转管靶的规格； 9、将表面质量更改为外观质量； 10、增加了内部质量要求（见4.7）； 11、更改了化学成分测试方法，原标准为双方协商，更改为按照GB/T38389-2019氧化铟锡靶材化学分析方法的要求进行。