国家标准项目《氧化锌铝靶材》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 云南戊电靶材科技有限公司 、云南省科学技术院 。
| 77 冶金 |
| 77.150 有色金属产品 |
| 77.150.60 铅、锌和锡产品 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 云南戊电靶材科技有限公司 | 目前国外有很少企业生产AZO靶材，美国和德国各有一家，这两家靶材生产企业没有公开的信息，更没有靶材标准的有关信息。氧化锌铝（AZO）靶材为磁控溅射制备薄膜重要的战略新材料，不断完善、提高其技术要求符合产业发展的趋势和规律，因此，氧化锌铝（AZO）靶材国家标准的制定十分必要和迫切。随着标准和产业化的协同发展，将对技术与市场起到极大的规范和引领作用。有助于推动氧化锌铝（AZO）靶材走出国门。 |
标准范围： 氧化锌铝（AZO）靶材主要有两个应用领域。一是应用在薄膜太阳能电池的镀膜层（异质结太阳能电池、铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池）。其次是应用在建筑节能玻璃镀膜。 主要技术内容： 1)化学成份： 主要成份为：①ZnO：Al2O3=98:2(质量分数），偏差为±0. 5%(质量分数）②ZnO：Al2O3=97：3(质量分数），偏差为±0. 5%(质量分数） 氧化锌铝靶材杂质成分：规定Fe、Pb、Na、Ni、Cu、Cd、Mn、Si、Ca、Mg 2)物理性能：相对密度：≥96%，密度均匀性偏差≤±0. 2%。 3)电阻率：0.005欧姆·厘米。 4)物理规格：氧化锌铝靶材呈管状或其他形状，其尺寸及偏差由供需双方商定。 5)表面质量： 氧化锌铝靶材表面颜色为绿色或浅绿色，并均匀。无裂纹，无明显崩边，气孔直径不大于0. 5mm,且无任何外来夹杂物和污染物。 6)内部缺陷 氧化锌铝靶材内部无裂纹，无异物，气孔真径不大于0. 5mm。
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