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国家标准项目《洁净室及相关受控环境 第17部分:颗粒物沉降速率应用》由 TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 中国工程物理研究院激光聚变研究中心中国标准化协会

目录

基础信息

20220341-T-469
制修订
制定
项目周期
12个月
2022-07-19
公示开始日期
2022-04-19
公示截止日期
2022-05-03
标准类别
方法
国际标准分类号
13.040.35
13 环保、保健和安全
13.040 空气质量
13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
执行单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-17:2021。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境第17部分:颗粒物沉降速率应用。

范围和主要技术内容

本文件给出了作为污染控制计划一部分的洁净室一个或多个敏感表面上颗粒沉积速率(PDR)测量结果的解释和应用方向。它提供了一些关于如何影响PDR和降低易受伤害表面上颗粒污染风险的说明。 本文件提供了洁净室用户如何使用PDR测量值来确定易受伤害表面上宏观颗粒的限值的信息。它还提供了一种风险评估方法,通过该方法可以确定微粒沉积到洁净室易受伤害表面上的可接受风险,如果达不到这一点,还可以使用一些方法来降低PDR。 PDR的另一种替代方法是粒子遮蔽率(POR),它决定了粒子在一个表面区域上随时间增加的覆盖率。可采用与PDR类似的方式使用POR,并可计算指定表面所需的POR,从而降低沉积颗粒的风险。 本文件不包括: ?提供根据PDR或POR对洁净室进行分类的方法; 直接考虑微生物携带颗粒的沉积,尽管它们可以被视为颗粒; ?考虑通过接触产生的表面沉积,例如,当人员接触产品并转移污染物时。