国家标准项目《光学和光子学 微透镜阵列 第4部分:几何特性测试方法》由 TC103(全国光学和光子学标准化技术委员会)归口,TC103SC6(全国光学和光子学标准化技术委员会电子光学系统分会)执行 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 中国兵器工业标准化研究所 、中科院重庆绿色智能技术研究院 、中科院大连化学物理研究所 、电子科技大学 。
| 31 电子学 |
| 31.260 光电子学、激光设备 |
本标准修改采用ISO国际标准:ISO 14880-4:2006。
采标中文名称:光学和光子学 微透镜阵列 第4部分:几何特性测试方法。
标准范围: 本标准规定了微透镜阵列中微透镜的俯仰和表面调制深度(矢高)、物理厚度、曲率半径、面形精度和表面粗糙度等几何特性的测试原理、测试系统、测试设备及测试程序等内容。适用于微透镜阵列中微透镜的几何特性测量。 主要技术内容: 微透镜阵列中微透镜的几何特性包括俯仰和表面调制深度(矢高)、物理厚度、曲率半径、面形精度和表面粗糙度等。 1)俯仰和表面调制深度(矢高),用手写笔仪器或共聚焦显微镜测量。 2)物理厚度,用千分尺测阵列的顶部和底部,计算物理厚度。 3)曲率半径,通过光学系统定位被测微透镜的顶点,用显微镜测量定位曲面的焦距位置或曲率中心的位移。 4)面形精度和表面粗糙度的测量需要借助光学系统进行测量。