国家标准项目《 碳化硅外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 、山西烁科科技股份有限公司 、中国电科半导体材料有限公司 、芜湖启迪半导体有限公司 、东莞市天域半导体科技有限公司 。

本标准规定了碳化硅外延片的产品分类：按导电类型分为N型和P型，同时规定了碳化硅外延片的要求，主要有碳化硅单晶衬底的导电类型、厚度、电阻率、微管密度、衬底级别；外延层的掺杂浓度、厚度以及允许偏差、表面缺陷种类、缺陷密度、表面粗糙度等。另外规定了试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于导电类型为N型和P型的碳化硅外延片，产品主要用于碳化硅半导体功率器件及光电器件。