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国家标准计划《高纯镓》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 有研国晶辉新材料有限公司朝阳金美镓业有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司峨眉山市峨半高纯材料有限公司

目录

基础信息

计划号
20214648-T-469
制修订
修订
项目周期
18个月
下达日期
2021-12-31
公示开始日期
2021-11-23
公示截止日期
2021-12-07
标准类别
产品
国际标准分类号
77.150.99
77 冶金
77.150 有色金属产品
77.150.99 其他有色金属产品
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

范围和主要技术内容

本标准适用于以纯度不小于99.99%的工业镓为原料,经电解精炼、拉制单晶等工艺制得的纯度不小于99.9999%的高纯镓,产品用于制备化合物半导体、高纯合金以及半导体材料的掺杂。 本次修订主要对高纯镓的适用范围、杂质元素的含量、化学分析方法等内容进行修订。主要内容包括: 1. 更改了产品用途,将原版中的“产品供制备化合物半导体材料和高纯合金”修改为“产品主要用于制备化合物半导体、高纯合金以及半导体材料的掺杂”。镓作为半导体材料的掺杂剂,直接影响材料性能,也是高纯镓的主要用途之一,标准范围中增加对应内容,技术指标也结合这类用途进行确定。 2. 更改了规范性引用文件,将原版中的“YS/T 474 ICP-MS分析法测定高纯镓中的痕量元素”修改为“YS/T 38 高纯镓化学分析方法”(YS/T 38.3为正在制定中的GD-MS法对高纯镓进行全元素分析),以完善高纯镓中硅含量的测试和全元素分析。引用文件中增加“GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定”,对测试数据修约处理提供明确依据。 3. 增加术语和定义章节。 4. 将产品分类单列为第4章,删除分类中关于牌号与纯度对应关系的描述,牌号表示Ga-06改为Ga6N、Ga-07改为Ga7N、MBE级改为Ga8N。 5. 修改化学成分的规定,将影响迁移率、载流子浓度的Al、S、K、In、Ca、Hg、As、Ag、Co等杂质加入化学成分要求,并按目前的实际客户需求和生产情况对其他杂质限值进行更改;杂质含量单位由×10-6%改为ng/g(10-9)。 6. 修改产品外观质量的描述,将液态及固态高纯镓的外观质量分别表示。 7. 修改化学分析方法,Ga6N的化学分析方法修改为“YS/T 38 高纯镓化学分析方法”第1、2部分;Ga7N、Ga8N化学分析方法修改为正在制定的第3部分,同时将附录A删除。 8. 修改检查验收的规则,将“产品由供方技术监督部门进行检验”修改为“供方或第三方”,同时对外观质量、化学成分异议提出期限分别作规定。 9. 组批的规定中增加对同一生产周期的要求。 10. 明确了检验项目条款,增加了对外观质量的检验取样要求。 11. 检验结果的判定中增加对检验结果数值修约的规定,更改了外观质量的检验结果判定。 12. 质量说明书改为随行文件,并对随行文件内容进行修改。