国家标准计划《氟及氟氮混合气》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、山东锐华氟业有限公司 、核工业理化工程研究院 、西南化工研究设计院 。

主要起草人 杜伟华 、贺国武 、李建浩 、李春晓等 。