国家标准项目《电子特气 羰基硫》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 福建久策气体股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、河南心连心深冷能源股份有限公司等 。

本标准规定了电子级羰基硫的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、储运、安全等要求。 本文件适用于由工业羰基硫经纯化制备的电子级羰基硫。 技术要求部分包含对组分和痕量金属杂质的要求，试验方法部分包含了羰基硫组分的气相色谱测试方法和杂质的电感耦合等离子体质谱测试方法；包装部分详细规定了产品的包装要求。