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国家标准计划《电子特气 一氧化碳》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 河南心连心深冷能源股份有限公司西南化工研究设计院有限公司等

目录

基础信息

计划号
20214306-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2021-10-13
公示开始日期
2021-05-18
公示截止日期
2021-06-01
标准类别
产品
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准委

起草单位

范围和主要技术内容

本标准规定了电子级一氧化碳的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、储运、安全等要求。 本文件适用于由工业一氧化碳经纯化制备的电子级一氧化碳。 技术要求部分包含对组分和痕量金属杂质的要求,试验方法部分包含了一氧化碳组分的气相色谱测试方法和杂质的电感耦合等离子体质谱测试方法;包装部分详细规定了产品的包装要求。